1.乱流式(Turbulent Flow)：

 

　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入喷塑烤房，并由喷塑烤房两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于喷塑烤房等级1,000-100,000级。

 

　　长处：结构简略、体系缔造本钱，喷塑烤房之扩大比较简略，在某些特殊用处场所，可并用无尘作业台，进步洁净室等级。

 

　　缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程商品。另外若体系中止作业再激活，欲达需求之洁净度，通常须耗时适当长一段时间。

 

　　2.层流式(Laminar)：

 

　　层流式空气气流运动成一平均之直线形，空气由掩盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于喷塑烤房等级需定较高之环境运用，普通喷塑烤房等级为Class 1~100。其型式可分为二种：

 

　　(1)程度层流式：程度式空气自过滤器双方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，普通在下流侧污染较严重。

 

　　优点：结构简单，运转后短时间内即可变成稳定。

 

　　缺陷：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩大。

 

　　(2)垂直层流式：房间天花板完整以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之干净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

 

　　优点：管理容易，运转开端短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

 

　　缺陷：结构费用较高，弹性运用空间艰难，天花板之吊架相当占空间，维修改换过滤器较费事。

 

　　3.复合式(Mixed Type)：

 

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超洁净之空气。

 

　　(1)洁净地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节约装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与商品和机器修理予以阻隔，以避免机器修理时影响了作业及质量，ULSI制程大都选用此种型式。

 

　　洁净地道还有二项长处：A.弹性扩大简略； B.修理设备时可在修理区轻易履行。

 

　(2)干净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动消费线包围并净化处置，将干净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境互相隔离，少量之送风即可得到良好之干净度，可俭省能源，不需人工的自动化消费线为最适合运用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

 

　　(3)并装部分干净室(Clean Spot)：将干净室等级10,000~100,000之乱流干净室内之产品制程区的干净度等级进步为10~1000级以上，以为消费之用；干净工作台、干净工作棚、干净风柜即属此类。

 

　　洁净作业台：等级Class 1~100级。

 

　　洁净作业棚：为在乱流式之喷塑烤房空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间，选用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而变成一较高档之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，掩盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用